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发布时间:2020-06-21 20:49:13
化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。
真空镀膜技术与湿式镀膜技术相比较,具有下列优点:
(1)薄膜和基体选材广泛,薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。
(2)在真空条件下制备薄膜,环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
(3)薄膜与基体结合强度好,薄膜牢固。
(4)干式镀膜既不产生废液,也无环境污染。
离子镀膜
即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的,因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下,利用气体放电使工作气体或被蒸发物质(膜材)部分离化,并在离子轰击下,将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。(6)由于在真空条件下制膜,所以薄膜的纯度高、密实性好、表面光亮不需要再加工,这就使得薄膜的力学性能和化学性能比电镀膜和化学膜好。在膜的形成过程中,基片始终受到高能粒子的轰击,十分清洁。
真空卷绕镀膜
真空卷绕镀膜是一种利用物***相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术,以实现柔性基体的一些功能性、装饰性属性。
基体资料的外表状况对掩盖才能的影响比较复杂。
一般来说,同一镀液在光洁度高的基体外表上掩盖才能要比其在粗糙外表上的掩盖才能好。因为外表积大,其实在电流密度较低,不易到达金属的分出电位,而仅仅分出很多氢气。别的,若是基体外表镀前处置不良,存在没有除尽的油膜、各种成相膜层或污物等,也将阻碍镀层的堆积而使掩盖才能下降。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。
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